@phdthesis{D098.083B,
author={Lernout, J.},
title={Optimalisatie en Karakterisatie van PECVD Siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een Dunne Film Multichipmodule op Silicium},
booktitle={Doctoraatsproefschrift Faculteit Toegepaste Wetenschappen, Universiteit Gent},
year={1998},
month={8},
pages={1-298},
editor={Van Calster, A.},
address={Gent},
}