@phdthesis{D098.083B, author={Lernout, J.}, title={Optimalisatie en Karakterisatie van PECVD Siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een Dunne Film Multichipmodule op Silicium}, booktitle={Doctoraatsproefschrift Faculteit Toegepaste Wetenschappen, Universiteit Gent}, year={1998}, month={8}, pages={1-298}, editor={Van Calster, A.}, address={Gent}, }